图形化CVD金刚石膜的新方法——等离子体辅助固体刻蚀法

• 作者: 余学超 吴宇琼 孙蕾 汪建华 满卫东 谢鹏
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 刻蚀 等离子体 图形化加工
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 页码范围: 1-4,8
• 页数: 5页
• 分类号: TG74|TQ164
• 字数: 2285字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2008.06.001

摘要

金刚石膜是一种具有巨大应用潜力的新型功能材料,但是它极高的硬度和化学稳定性使其难以被加工成型,因此如何对金刚石膜表面进行精确的图形化加工是实现制造金刚石器件的关键技术问题之一.在本研究中,我们用微波等离子体化学气相沉积法制备的金刚石厚膜,在其表面利用氢等离子体辅助刻蚀、铁薄膜的催石墨化作用下,对金刚石膜的形核面进行了选择性的刻蚀.结果表明,该方法具有较高的刻蚀速率(850 ℃,33.8 μm/h),较高的刻蚀选择比,可以对CVD金刚石膜进行较精确的图形化刻蚀,还可通过调节铁薄膜的厚度来实现刻蚀深度的控制.对氢等离子体在整个过程中的作用进行了阐述.