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多晶硅薄膜的激光晶化技术
多晶硅薄膜的激光晶化技术
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摘要：
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大气环境下多晶硅薄膜的疲劳性能
微机电系统
多晶硅
薄膜
疲劳
多晶硅薄膜残余应力显微拉曼谱实验分析
拉曼谱
多晶硅
薄膜
残余应力
SiCl4/H2为气源低温沉积多晶硅薄膜光电特性的研究
多晶硅薄膜
持续性光电导
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多晶硅薄膜晶体管kink效应的建模
多晶硅薄膜晶体管
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期刊影响力
光机电信息
主办单位：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1007-1180
CN：
22-1250/TH
开本：
大16开
出版地：
吉林省长春市
邮发代号：
12-171
创刊时间：
1958
语种：
chi
出版文献量（篇）
2287
总下载数（次）
1
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7000
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