含氢类金刚石薄膜的生长及表征

• 作者: 陈明文
• 来源期刊: 光谱实验室
• 学科: 化学
• 关键词: 类金刚石薄膜 拉曼光谱 等离子体增强化学气相沉积.
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 462-464
• 页数: 3页
• 分类号: O657.37|O484.5
• 字数: 1675字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-8138.2008.03.046

摘要

采用射频-等离子体辅助化学气相沉积(RF-PECVD)法在硅片、玻璃上生长类金刚石薄膜.通过Raman光谱、AFM等测试手段,研究不同的生长工艺条件下类金刚石薄膜的性质的变化.实验表明,RF-PECVD生长DLC膜,在上方电极处以及较低功率下可获得较高sp3含量的薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈明文	厦门大学物理系	1	2	1.0	1.0