平面3-DOF电磁微动台设计及其解耦控制

• 作者: 尹文生 张鸣 朱煜 李恒 杨开明 胡金春
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 平面三自由度 电磁微动台 模型简化 解耦控制 微分先行
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 1427-1431,1436
• 页数: 6页
• 分类号: TH134
• 字数: 3072字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1815.2008.06.011

摘要

针对精密运动应用领域,设计和制作了一种新型的平面三自由度电磁微动台,对此建立了动力学和控制模型.通过电磁力的分配实现控制系统的解耦,对解耦后的单入单出系统设计了双环PD控制器,并进行位置伺服控制实验,验证了解耦策略和控制算法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨开明	清华大学精密仪器与机械学系	44	664	15.0	25.0
2	尹文生	清华大学精密仪器与机械学系	39	623	12.0	24.0
3	朱煜	清华大学精密仪器与机械学系	99	1312	17.0	33.0
4	胡金春	清华大学计算机科学与技术系	14	109	6.0	10.0
5	张鸣	清华大学精密仪器与机械学系	31	335	10.0	17.0
6	李恒	清华大学精密仪器与机械学系	20	157	7.0	12.0