极大规模集成电路工艺用配套超净纯试剂的研制和产业化开发

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詹家荣

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篇名	极大规模集成电路工艺用配套超净纯试剂的研制和产业化开发
来源期刊	化学试剂	学科	经济
关键词
年，卷（期）	2009,（1）	所属期刊栏目	动态与信息
研究方向		页码范围	72-73
页数	2页	分类号	F4
字数	1592字	语种	中文
DOI	10.3969/j.issn.0258-3283.2009.01.026