脉冲激光沉积ZrW_2O_8/ZrO_2复合薄膜及其靶材制备

• 作者: 刘红飞 张志萍 程晓农
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZrW2O8 ZrO2 脉冲激光法 低热膨胀 复合靶
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 686-689
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5|TB43|TQ174.75~+8.2
• 字数: 2166字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.06.19

摘要

采用化学共沉淀法合成26wt%ZrW_2O_8/ZrO_2近零膨胀复合陶瓷靶材,并以脉冲激光法在石英基片上沉积制备了ZrW_2O_8/ZrO_2复合薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、热膨胀仪、扫描电子显微镜(SEM)研究了复合靶材的晶体结构、热膨胀性能和致密度,同时也探索了热处理温度对复合薄膜的相组成和表面形貌的影响.结果表明:合成的靶材由α-ZrW_2O_8和m-ZrO_2组成,26wt%ZrW_2O_8/ZrO_2复合靶材在30℃～600℃的热膨胀系数为-0.5649×10~(-6)K~(-1),近似为零,且靶材致密、均匀;脉冲激光沉积制备的薄膜为非晶态,表面平滑、致密,随着热处理温度的升高,薄膜开始结晶,在1200℃热处理6min后得到纯ZrW_2O_8/ZrO_2复合薄膜,且两相物质在膜层中分散均匀,结晶后的薄膜存在一些孔洞缺陷.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程晓农	江苏大学材料科学与工程学院	344	2629	24.0	32.0
2	刘红飞	江苏大学材料科学与工程学院	20	152	7.0	11.0
3	张志萍	江苏大学材料科学与工程学院	17	105	6.0	9.0