多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器

• 作者: 何晓宇 刘伟 张大为 揣荣岩 王健
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 有限元 多晶硅纳米薄膜
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 6-8
• 页数: 3页
• 分类号: TK312
• 字数: 2297字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2009.09.003

摘要

多晶硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性.为了使这种良好的压阻特性得到实际应用,文中给出了多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器的设计方法.根据多晶硅纳米薄膜压阻特性和硅杯腐蚀技术条件确定弹性膜片结构,并采用有限元分析方法对弹性膜片尺寸以及应变电阻分布进行了优化.依据优化设计结果试制了压力传感器芯片.实验表明该传感器工艺简单、高温特性好、灵敏度高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王健	沈阳工业大学信息科学与工程学院	49	161	7.0	11.0
3	刘伟	中国电子科技集团公司第四十七研究所	45	99	7.0	8.0
6	揣荣岩	沈阳工业大学信息科学与工程学院	31	90	5.0	8.0
7	何晓宇	中国电子科技集团公司第四十七研究所	4	14	1.0	3.0
8	张大为	沈阳工业大学信息科学与工程学院	2	12	1.0	2.0