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“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项推进会在京召开
“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项推进会在京召开
作者:
白云川
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
大规模集成电路
成套工艺
制造装备
大专
国家科技部
国家发改委
咨询委员会
副部长
摘要:
3月26日,“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项推进会在京召开,这标志着我国“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项进入全面实施阶段。会议由国家科技部曹健林副部长主持,全国政协副主席、科技部万钢部长出席并讲话。来自国家发改委、科技部、财政部、工信部、教育部、北京市、上海市、相关地方科技部门、项目承担单位、咨询委员会、总体组等单位代表共200多人参加会议。
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文献信息
篇名
“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项推进会在京召开
来源期刊
中国制造业信息化:应用版
学科
工学
关键词
大规模集成电路
成套工艺
制造装备
大专
国家科技部
国家发改委
咨询委员会
副部长
年,卷(期)
2009,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
10-15
页数
6页
分类号
TN47
字数
语种
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
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G指数
1
白云川
191
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2009(0)
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研究主题发展历程
节点文献
大规模集成电路
成套工艺
制造装备
大专
国家科技部
国家发改委
咨询委员会
副部长
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
中国制造业信息化:应用版
主办单位:
科学技术部高技术研究发展中心
江苏省机械研究设计院
出版周期:
月刊
ISSN:
1672-1616
CN:
11-4974/TH
开本:
出版地:
北京市海淀区阜成路14号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
3057
总下载数(次)
1
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