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摘要:
3月26日,“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项推进会在京召开,这标志着我国“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项进入全面实施阶段。会议由国家科技部曹健林副部长主持,全国政协副主席、科技部万钢部长出席并讲话。来自国家发改委、科技部、财政部、工信部、教育部、北京市、上海市、相关地方科技部门、项目承担单位、咨询委员会、总体组等单位代表共200多人参加会议。
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文献信息
篇名 “极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项推进会在京召开
来源期刊 中国制造业信息化:应用版 学科 工学
关键词 大规模集成电路 成套工艺 制造装备 大专 国家科技部 国家发改委 咨询委员会 副部长
年,卷(期) 2009,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 10-15
页数 6页 分类号 TN47
字数 语种
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1 白云川 191 0 0.0 0.0
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研究主题发展历程
节点文献
大规模集成电路
成套工艺
制造装备
大专
国家科技部
国家发改委
咨询委员会
副部长
研究起点
研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国制造业信息化:应用版
月刊
1672-1616
11-4974/TH
北京市海淀区阜成路14号
出版文献量(篇)
3057
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