玻璃和柔性衬底上氧化铟锡薄膜特性的对比研究

• 作者: 任新光 向嵘 姜德龙 李野 王新 端木庆铎
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铟锡 磁控溅射 X射线衍射 透光率 电阻率
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 器件制备技术及器件物理
• 页码范围: 389-392
• 页数: 4页
• 分类号: TB34
• 字数: 1990字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2009.03.012

摘要

对采用磁控溅射方法生长在玻璃和柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)塑料上的氧化铟锡(ITO)薄膜的结构、光学和电学特性进行了对比研究.在两种不同的衬底上均得到了不分相的、高质量的多晶ITO薄膜,其中生长在玻璃衬底上的ITO薄膜(002)衍射峰的半峰宽为0.24°,生长在PET衬底上的为0.28°.两种样品在可见光区都具有很高的透过率,其中玻璃衬底上生长的薄膜的透过率约为92%,PET上生长的薄膜的透过率高达87%.两种薄膜均具有良好的导电性,玻璃衬底上薄膜的电阻率为4.2×10-4Ω·cm,柔性PET衬底上薄膜的电阻率为4.7×10-4Ω·cm.实验结果证明,完全可以采用磁控溅射的方法在柔性衬底上生长出高质量的ITO薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李野	长春理工大学理学院	68	297	9.0	13.0
2	姜德龙	长春理工大学理学院	25	153	6.0	10.0
3	端木庆铎	长春理工大学理学院	56	241	8.0	12.0
4	王新	长春理工大学理学院	42	87	5.0	6.0
5	向嵘	长春理工大学理学院	12	57	5.0	6.0
6	任新光		2	5	1.0	2.0