脉冲负偏压对沉积类金刚石薄膜结构和摩擦性能的影响

• 作者: 桑利军 陈强
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 ECR 脉冲负偏压 结构和性能
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 低能加速器技术、射线技术及应用
• 页码范围: 427-430
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2602字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2009.06.007

摘要

在不同的基台脉冲负偏压下,利用微波-ECR等离子体化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了类金刚石薄膜,利用傅立叶变换红外吸收光谱和原子力显微镜对薄膜的结构和形貌进行了表征,最后对薄膜的摩擦系数进行了测试.结果表明:制备的薄膜具有典型的含H类金刚石结构特征,薄膜致密均匀,表面粗糙度很小.随着负偏压的增大,红外光谱中2800-3000 cm-1波段的C-H伸缩振动吸收峰的强度先升高后降低,并在负偏压为200 V时达到最大;薄膜的摩擦系数而是先降低再升高,在负偏压为200 V时达到最小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈强	北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室	125	542	10.0	17.0
2	桑利军	北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室	14	53	5.0	6.0