多晶硅铸锭用坩埚烧结炉的设计

• 作者: 刘松 李军阳 罗亮 陈特超
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 铸锭 坩埚 喷涂 烧结炉 实验
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 本期专题(硅片制造工艺与设备)
• 页码范围: 9-12
• 页数: 4页
• 分类号: TF806.9
• 字数: 2840字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.08.002

摘要

多晶硅铸锭时是将硅材料放在一个耐高温容器即坩埚中将硅料熔化、冷却、长晶的过程.装硅料的容器必须耐高温,不挥发,一般采用氧化硅陶瓷制造.为了保证硅锭的纯度,在硅料放入前需在坩埚内表面喷涂一层隔离材料,然后将此材料与坩埚在高温下形成一体.坩埚烧结炉就是将此喷涂物与坩埚烧结起来,形成牢固的隔离层.本文介绍了设计方法,提供了详细设计计算过程,介绍了设备的特点,并结合实际使用情况给出了测试数据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李军阳	中国电子科技集团公司第四十八研究所	2	16	1.0	2.0
2	陈特超	中国电子科技集团公司第四十八研究所	21	38	3.0	5.0
3	刘松	中国电子科技集团公司第四十八研究所	4	1	1.0	1.0
4	罗亮	中国电子科技集团公司第四十八研究所	3	16	2.0	3.0