厚度对溶胶-凝胶法制备锂掺杂ZnO薄膜性能的影响

• 作者: 凤 周呈悦 张楠生 李 马忠权
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 关键词: 锂掺杂氧化锌薄膜 溶胶-凝胶法 薄膜厚度 结构分析 电学性能
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文,中文
• 页码范围: 1332-1337
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2009.08.012

摘要

采用溶胶-凝胶旋涂法在玻璃衬底上制备了不同厚度的ZnO:Li半导体薄膜.采用X射线衍射仪和扫描电子显微镜分析了薄膜的物相结构和形貌,用Hall效应测量仪常温下测量薄膜的电学性能.结果表明:该薄膜具有高度的c轴择优取向性,所有薄膜只有1个(002)衍射峰,并且衍射强度随着膜厚增加而加强.ZnO:Li薄膜晶粒呈柱状,晶粒直径不随膜厚改变,约为40 um.ZnO:Li薄膜为P型导电,薄膜越厚,其电学性能与晶体结晶越好,(002)方向择优取向生长越明显.电阻率随着膜厚增加而减小,最小的电阻率为1.32×102(Ω·cm).载流子-空穴浓度为3.546×1016/cm3,迁移率为1.34cm2/(V·s).ZnO:Li薄膜在可见光范围内的透过率达到90%,薄膜对紫外光的吸收与厚度有关.