MEMS耐高温压力传感器封装工艺

• 作者: 刘元浩 孟超 王新波 赵玉龙 赵立波
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 耐高温压力传感器 封装 薄膜隔离式结构 平膜膜片 波纹状膜片 热膨胀
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 9-11,14
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2177字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2009.09.004

摘要

MEMS耐高温压力传感器在封装结构上采用薄膜隔离式结构,在油腔与波纹片所形成的密闭容腔里面填充高温硅油.由于传感器的工作温度达250 ℃,硅油、壳体基座及波纹片将会产生不同程度的热膨胀,最终将给压阻力敏芯片形成一定附加压力,严重影响传感器的精度.文中主要就硅油、壳体基座及波纹片在250 ℃工作时由于不同的热膨胀系数而导致的膨胀不一致情况进行ANSYS仿真分析,研究了平膜膜片及波纹状膜片情况下的硅油热膨胀问题,最后相应地得到了硅油相对于壳体和波纹片的热膨胀率,同时分析得出了合理设计波纹片结构可以有效减小硅油热膨胀时所产生的附加压力,提高传感器的工作灵敏度与稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵玉龙	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	81	540	14.0	19.0
2	赵立波	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	23	103	7.0	9.0
3	孟超	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	7	22	3.0	4.0
4	王新波	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	5	17	2.0	4.0
5	刘元浩	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	2	10	2.0	2.0