PET材料表面制备氧化硅薄膜的研究

• 作者: 刘玉兰 刘长林 汪建华 熊礼威
• 来源期刊: 武汉工程大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: PET 氧化硅薄膜 磁控溅射 PECVD 阻隔性能
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 70-73
• 分类号: TB324|TB43
• 字数: 2877字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2010.05.019

摘要

为了满足材料在饮料、啤酒等包装领域方面的要求,在PET材料内壁涂覆氧化硅薄膜是一种十分有效的方法.本文分别使用磁控溅射法和微波等离子体化学气相沉积法(PECVD)在PET材料表面制备了氧化.硅薄膜,通过结果分析,对两种方法从原理、各自优点等方面进行了比较,并就沉积时间、工作气压、电源功率对各自所沉积薄膜阻隔性的影响作了相应分析,得出了两种方法各自的最佳工艺条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
2	熊礼威	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料重点实验室	37	243	9.0	14.0
3	刘玉兰	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料重点实验室	14	43	4.0	5.0
4	刘长林	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料重点实验室	4	34	3.0	4.0