射频容性放电Ar等离子体离子能量分布和角度分布

• 作者: 吕少波 巴德纯 王庆 蔺增
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: Ar等离子体 MC模型 能量分布 角度分布 法拉第能量分析器
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 63-69
• 分类号: O461.2
• 字数: 5223字
• 语种: 中文

摘要

通过MC模型对射频容性Ar等离子体中离子入射的能量及其分布特性进行了模拟计算,结果表明,放电压力低时,高能量离子分布较多,且在高能区域分布曲线呈双峰形式,离子入射的角度较小;放电压力高时,低能量离子分布较多,能量分布曲线偏向于低能量区域,且高能峰消失,离子入射角度增大;放电电压升高,离子能量分布曲线向高能区域移动,能峰之间的距离变长,角度分布曲线向小角度区域移动;随着自偏压升高,入射离子的能量增大,能量分布曲线向高能量区域移动,能峰间距变化不大.离子入射角度减小.法拉第离子能量分析器的测试结果表明,低放电压力时,离子能量较高且在高能区域呈双峰形式,高放电压力时,离子能量较低且能量分布高能峰消失.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯	东北大学机械工程与自动化学院	250	1491	18.0	22.0
2	吕少波	东北大学机械工程与自动化学院	6	20	3.0	4.0
3	蔺增	东北大学机械工程与自动化学院	40	160	7.0	9.0
4	王庆	东北大学机械工程与自动化学院	47	245	8.0	13.0