表面化学处理和退火对p-GaN/ZnO:Ga接触特性的影响

• 作者: 张建华 李喜峰 王书方
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: p-GaN ZnO:Ga透明电极 表面化学处理 接触特性
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 848-853
• 分类号: O484|TN301
• 字数: 3345字
• 语种: 中文

摘要

ZnO:Ca(GZO)透明电极沉积在p-CaN表面,用作透明电流扩展层.直接沉积在p-CaN上的p-GaN/GZO存在较大的势垒,容易形成肖特基接触,而良好的欧姆接触对功率LED器件至关重要.为了降低接触势垒,采用盐酸和氢氧化钠溶液对CaN表面进行去氧化层处理,并对p-GaN/GZO进行退火处理,研究表面处理和退火对p-GaN/GZO接触特性的影响.研究表明:碱性溶液处理有利于降低接触势垒;退火处理后,接触势垒略有增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张建华	上海大学新型显示及应用集成教育部重点实验室	106	709	13.0	21.0
5	李喜峰	上海大学新型显示及应用集成教育部重点实验室	21	70	5.0	6.0
6	王书方	上海大学新型显示及应用集成教育部重点实验室	2	7	2.0	2.0