磁控溅射镍膜催化生长石墨烯及迁移表征

• 作者: 刘立伟 张国玉 牛亮
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 石墨烯 化学气相沉积 镍催化剂
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 94-96
• 页数: 3页
• 分类号: TQ127.11

摘要

在Si／SiO2衬底上将磁控溅射镍膜作为催化剂，利用化学气相沉积制备了大面积连续的石墨烯薄膜，得到的石墨烯为1～15层。将石墨烯薄膜迁移到玻璃衬底和Si／SiO2衬底上，测量了薄膜的可见光透过率和薄膜电阻，并讨论了石墨烯作为透明导电电极在光电器件上的应用。