直流电弧等离子体CVD金刚石膜中氢杂质研究

• 作者: 吕反修 唐伟忠 姜春生 李成明 郭世斌
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: CVD 金刚石膜 氢杂质 FT-IR 核反应分析
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 48-51,56
• 页数: 5页
• 分类号: O77+5
• 字数: 1727字
• 语种: 中文

摘要

运用傅里叶红外光谱(FT-IR)和核反应分析(NRA)对直流电弧等离子体制备的金刚石膜中的氢杂质进行了研究,并通过添加少量空气到反应气体的实验分析了氢杂质的变化.研究结果发现:红外光谱只能检测金刚石膜中的成键氢,其含量随着氮渗入量的增加而增加,并得出2820 cm~(-1)处的吸收是由氮结合的CH基团振动引起的,2832 cm~(-1)处的吸收可能是由金刚石膜特征结构缺陷结合的CH基团振动引起的,而不是氧相关的基团.核反应分析可以检测金刚石膜中的总氢含量,近表面小于50 nm层氢含量变化快,大于50 nm之后氢含量趋于稳定,此值认为是金刚石膜中的总氢含量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
3	李成明	北京科技大学材料科学与工程学院	71	480	12.0	19.0
4	郭世斌	北京科技大学材料科学与工程学院	8	31	3.0	5.0
5	姜春生	北京科技大学材料科学与工程学院	8	22	3.0	4.0