非对称双极脉冲磁控溅射沉积氮化铬铝涂层的微观结构和硬度

• 作者: 张淑娟 李明升 段为梁 祝文 范永中
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非对称双极脉冲磁控溅射 氮化铬铝涂层 微观结构 硬度
• 年，卷（期）: 2010,（z1）
• 页码范围: 48-51
• 分类号: TG174.444
• 字数: 3150字
• 语种: 中文

摘要

利用非对称双极脉冲磁控溅射技术,双极分别接纯铬靶和纯铝靶,通过调整两靶的功率,以反应溅射的方式沉积不同铬铝比的氮化铬铝涂层.研究不同Al含量的氮化铬铝涂层的结构和硬度.所获得的涂层依次为Cr0.95Al0.05N、Cr0.9Al0.1N、Cr0.83Al0.17N和Cr0.75Al0.25N,均为B1NaCl结构,(220)为主要的织构取向.随着涂层中Al含量的增加,涂层表面突起的尺寸逐渐降低,涂层趋于光滑致密;低Al含量涂层为柱状晶结构,随Al含量提高,涂层结构更加致密,并向等轴晶结构转变.涂层硬度随Al含量的提高先增加后降低,Cr0.83Al0.17N涂层表现出最高的硬度,维氏硬度达到33 GPa以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李明升		12	160	8.0	12.0
2	张淑娟		4	8	2.0	2.0
3	范永中		2	3	1.0	1.0
4	祝文		1	3	1.0	1.0
5	段为梁		1	3	1.0	1.0