TiNi/ZnO复合智能薄膜的制备及性能研究

• 作者: 周衡志 曾光 李子全
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 智能薄膜 射频磁控溅射 TiNi/ZnO复合薄膜 微观结构 阻尼性能
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 1447-1450
• 分类号: TG139+.6|O484
• 字数: 2875字
• 语种: 中文

摘要

使用射频磁控溅射法在石英衬底上制备quartz/ZnO/TiNi及quartz/TiNi/ZnO复合薄膜结构,利用XRD、SEM划痕仪等测试方法研究了复合薄膜的相结构、微观组织、力学性能.利用DMA分别研究了quartz/TiNi与quartz/ZnO/TiNi复合结构的阻尼性能随振动频率及振幅的变化规律.结果表明,前者频率响应范围在10 Hz以内,后者响应范围达到20 Hz:前者的临界外加激振电压仅为0.6 V,后者的临界外加激振电压达到1.0 V.阻尼性能测试表明,quartz/ZnO/TiNi复合结构的阻尼性能优于quartz/TiNi复合结构.由划痕仪测得两种复合薄膜结构与基体的临界结合力分别为45.75和40.15N.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李子全		72	607	13.0	22.0
2	周衡志		12	100	6.0	10.0
3	曾光		4	4	1.0	1.0