喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备ITO靶材的工艺研究

• 作者: 任冬燕 李晶 李芝华 赵晓东
• 来源期刊: 稀有金属与硬质合金
• 学科: 工学
• 关键词: ITO靶材 喷雾干燥 冷等静压 烧结
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 稀有金属材料
• 页码范围: 38-41,46
• 分类号: TB383
• 字数: 2418字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-0536.2011.02.010

摘要

以化学共沉淀法制备的ITO粉末为原料,采用喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备了ITO靶材,通过扫描电子显微镜(SEM)观察粉末、素坏及烧结后ITO靶材的表面形貌和气孔分布,并就粉末不同粒度组成对靶材压制与烧结效果的影响进行了分析.实验结果表明:通过喷雾干燥-冷等静压-烧结工艺可制备出相对密度大于97%的ITO靶材,喷雾干燥工序能有效改善粉末的流动性与压形性,以细粉为主的素坯其烧结致密化程度更高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晶	西南科技大学材料科学与工程学院	135	1341	19.0	27.0
3	李芝华	中南大学材料科学与工程学院	54	553	13.0	20.0
6	任冬燕	中南大学材料科学与工程学院	15	164	8.0	12.0
7	赵晓东	中南大学材料科学与工程学院	4	33	3.0	4.0