碳管炉真空系统的检漏

• 作者: 李成山 李高山 熊晓梅 纪平 贾佳林 闫果
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 压升率 真空 检漏 氦质谱检漏
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 69-71
• 分类号: TB774
• 语种: 中文

摘要

本文主要论述了碳管炉真空系统的组成及特点,利用静态压升检漏法和氦质谱检漏两种手段评定碳管炉密封性的好坏,此方法对真空热处理设备及类似装备的设计、检漏具有很好的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李成山	西北有色金属研究院超导材料研究所	93	143	6.0	9.0
2	熊晓梅	西北有色金属研究院超导材料研究所	24	28	3.0	4.0
3	闫果	西北有色金属研究院超导材料研究所	32	89	5.0	8.0
4	纪平	西北有色金属研究院超导材料研究所	6	32	2.0	5.0
5	贾佳林	西北有色金属研究院超导材料研究所	8	13	2.0	3.0
6	李高山	西北有色金属研究院超导材料研究所	4	0	0.0	0.0