太阳能电池生产线中新型等离子体刻蚀机刻蚀工艺探讨

• 作者: 李健志 毛朝斌 陈特超 马度·巴布
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体 刻蚀 工艺 实验
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 光刻与刻蚀
• 页码范围: 5-6,48
• 分类号: TM910.5
• 字数: 657字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.06.002

摘要

介绍了一种新型等离子体刻蚀机的使用条件,通过对各种参数变化的组合实验,得到了最佳工艺数据.利用该刻蚀机生产的电池片刻蚀效果好,刻蚀后经检测,电池片漏电流小,并联电阻大,提高了电池片的综合性能指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈特超	中国电子科技集团公司第四十八研究所	21	38	3.0	5.0
2	毛朝斌	中国电子科技集团公司第四十八研究所	13	11	2.0	2.0
3	李健志	中国电子科技集团公司第四十八研究所	5	8	1.0	2.0
4	马度·巴布		1	1	1.0	1.0