射频感应耦合化学气相沉积类金刚石薄膜的摩擦性能研究

• 作者: 王智
• 来源期刊: 河北化工
• 学科: 物理学
• 关键词: DLC薄膜 射频感应耦合 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 化工材料
• 页码范围: 65-68
• 分类号: O484.5
• 字数: 2686字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5059.2011.07.024

摘要

采用射频感应耦合离子源(ICP)在硅基底上沉积了DLC薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和拉曼光谱对DLC薄膜的表面形貌及结构进行了分析表征,用UTM-2摩擦磨损试验仪对薄膜的摩擦学性能进行了测试.结果表明,利用该方法沉积制备的DLC薄膜具有良好的减摩抗磨性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王智		2	1	1.0	1.0