全自动晶圆划片机S运动曲线规划与分析

• 作者: 张伟 闫启亮
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 全自动 晶圆 划片机 S曲线
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 材料加工与设备
• 页码范围: 11-14
• 分类号: TN305.1
• 字数: 1400字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.10.004

摘要

针对全自动划片机运动控制系统的特点,对S运动曲线加减速算法进行了深入分析,推导出S曲线加减速的计算公式,并通过试验仿真进行验证,根据分析结果得出S曲线是一种适合全自动划片机高速高精度运动的加减速算法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张伟		8	21	3.0	4.0
2	闫启亮		6	23	3.0	4.0