一种ICP-MS真空测量系统的研制

• 作者: 李明 杨雷岗 类成华 陈永彦
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空测量 电感耦合等离子体质谱仪 C8051F微控制器 实时测量
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 40-42
• 分类号: TB771
• 字数: 1135字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了一种基于C8051F微控制器并应用于电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)的真空测量系统.系统由真空计组、预处理电路、C8051F微控制器、串行接口和上位机组成,能同时测量接口、透镜和四级杆三个部分的真空状态,且具有较高的集成度,紧凑的体积和较低的功耗,经最后实验证实,系统能准确且稳定的测量各个部分的真空度,可为ICP-MS的正常工作提供相应的条件保障.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李明	钢铁研究总院分析测试所	4	0	0.0	0.0
2	陈永彦	钢铁研究总院分析测试所	2	4	1.0	2.0
3	类成华	钢铁研究总院分析测试所	2	0	0.0	0.0
4	杨雷岗	钢铁研究总院分析测试所	3	3	1.0	1.0