Ti(CN)/TiC/Al2O3/TiN多层涂层的结构和界面结合力研究

• 作者: 张进 程小伟 薛屺
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 Ti(CN)/TiC/Al2O3/TiNi划痕实验 界面结合力
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 25-28
• 分类号: TB43
• 语种: 中文

摘要

采用中温、高温复合化学气相沉积技术(MHCVD)在WC- (6％wt)Co硬质合金基体表面制备了Ti(CN)/TiC/Al2O3/TiN 多层陶瓷涂层.通过光学显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和数显显微硬度计等手段分析多层陶瓷涂层的表面及断面形貌、物相组成、显微硬度；采用表面划痕实验,结合形貌观察及X射线能谱分析(EDS)研究多层陶瓷涂层/硬质合金基体的界面结合力及其影响因素.结果表明:Ti(CN)/TiC/Al2O3/TiN 多层陶瓷涂层结构均匀致密,涂层后硬质合金的显微硬度明显提高,约2600 HV,多层陶瓷涂层与基体界面结合良好,划痕实验显示临界载荷高达105 N,多层陶瓷涂层界面间的原子扩散作用对涂层/基体界面附着力有较大贡献,而涂层内部少量Ti2O3、W6Co6C 等物相的存在对提高界面结合力也有帮助.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛屺	西南石油大学材料科学与工程学院	48	254	9.0	13.0
2	程小伟	西南石油大学材料科学与工程学院	38	193	8.0	11.0
3	张进	西南石油大学材料科学与工程学院	27	69	5.0	6.0