碱性腐蚀工艺条件对硅片表面腐蚀形貌的影响

• 作者: 孙俭
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 腐蚀 表面形貌 硅片
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 光伏制造与设备
• 页码范围: 28-30
• 分类号: TN305.2
• 字数: 1744字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.03.008

摘要

碱性腐蚀工艺条件对硅片表面腐蚀形貌如粗糙度、显微镜下的表面状况的影响做了研究,通过实验结果给出了特定要求条件下硅片腐蚀的最佳方案.运用硅的化学腐蚀机理分析了表面腐蚀状况的原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙俭	中国电子科技集团公司第四十六研究所	1	4	1.0	1.0