铝诱导纳米硅制备大晶粒多晶硅薄膜的研究

• 作者: 刘斌 吴天如 方茹 沈剑沧 沈鸿烈
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 大晶粒 多晶硅薄膜 铝诱导 纳米硅
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 页码范围: 1387-1393
• 分类号: O484.1|TB34
• 字数: 3948字
• 语种: 中文

摘要

本文以超白玻璃为衬底,利用热丝化学气相沉积和磁控溅射法制备了Glass/nc-Si/Al的叠层结构,然后置于管式退火炉中在H2气氛下进行5h诱导晶化,用XRD、光学显微镜、扫描电镜和拉曼光谱对样品进行了表征.结果表明所有样品都是有(111)择优取向的多晶硅薄膜,在425℃诱导时,多晶硅晶粒尺寸最大达400 μm,但薄膜不连续；随着诱导温度升高到450℃,样品表面已形成了连续的多晶硅薄膜,但晶粒尺寸有所减小；475℃下诱导获得的最大晶粒尺寸约为200μm,此时多晶硅薄膜的结晶质量更好.还从动力学的角度分析了铝诱导纳米硅的晶化机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘斌	南京航空航天大学材料科学与技术学院	50	2075	20.0	45.0
2	沈鸿烈	南京航空航天大学材料科学与技术学院	93	264	9.0	10.0
3	吴天如	南京航空航天大学材料科学与技术学院	10	38	3.0	6.0
4	沈剑沧	南京大学物理学系固体微结构物理国家重点实验室	8	52	5.0	7.0
5	方茹	南京航空航天大学材料科学与技术学院	3	6	2.0	2.0