大角度离子注入机的束纯度控制

• 作者: 孙勇 王迪平
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 大角度离子注入机 加/减速 多电荷 束线系统 束能量纯度 二次离子质谱分析仪(SIMS)
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 21-23
• 分类号: TN305.3
• 字数: 2135字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.01.007

摘要

从大角度离子注入机束线系统设计上的改进出发,对加/减速模式和多电荷注入等情况下的束能量纯度控制进行了阐叙,同时依靠大量的实验,从SIMS的实验数据来验证控制设计的合理性和有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙勇	中国电子科技集团公司第四十八研究所	12	15	2.0	3.0
2	王迪平	中国电子科技集团公司第四十八研究所	5	3	1.0	1.0