AIT玻璃衬底非晶硅薄膜的固相晶化研究

• 作者: 卢景霄 郑文 陈永生
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 铝诱导织构 固相晶化 多晶硅薄膜 陷光作用
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 页码范围: 1591-1594
• 分类号: O484
• 字数: 2303字
• 语种: 中文

摘要

本实验在铝诱导织构的基础上,对以AIT浮法玻璃为衬底沉积非晶硅薄膜固相晶化进行了初步研究.采用拉曼散射、X射线衍射等手段对生成多晶硅薄膜的结构和光学性能进行了表征和分析.研究结果表明:热处理10h,薄膜的晶化率达到80％以上,同时具有良好的(111)择优取向；同平板玻璃衬底对比,AIT玻璃上制备的多晶硅薄膜具有良好的陷光作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈永生	郑州大学材料物理教育部重点实验室	67	484	11.0	19.0
2	卢景霄	郑州大学材料物理教育部重点实验室	100	570	12.0	17.0
3	郑文	滨州学院物理与电子科学系	9	20	2.0	4.0