脉冲激光沉积ZnO薄膜的表面研究

• 作者: 贾芳
• 来源期刊: 广东化工
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光沉积 ZnO薄膜 表面
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 1-2,25
• 分类号: TH
• 字数: 2449字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-1865.2011.09.001

摘要

脉冲激光沉积技术（PLD）目前已成为一种重要的制备氧化锌（ZnO）薄膜的技术,但是由于脉冲瞬间沉积时不能避免产生液滴及形成大小不一的颗粒,因此在制备高质量ZnO薄膜的表面均匀性方面还存在一定弊端。文章采用PLD（KrF准分子激光器：波长248 nm,频率5 Hz,脉冲宽度20 ns）方法在衬底温度450℃和氧气流量10 sccm下以高纯ZnO为靶材、在单晶硅衬底表面沉积120 min成功生长了ZnO薄膜。扫描电子图像（SEM）显示ZnO薄膜表面有明显凸起的颗粒,文章通过俄歇能谱仪对ZnO薄膜进行了研究,分析了ZnO薄膜的表面成分及凸起颗粒微观区域的成分。实验结果表明制备的ZnO薄膜表面明显突起的颗粒为ZnO颗粒,文章为PLD法制备ZnO薄膜易形成大小不一的颗粒提供了理论依据。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾芳	深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室	9	34	3.0	5.0