三自由度气浮平面电机非线性运动控制研究

• 作者: 余东东 崔乐卿 朱煜 李鑫 杨开明
• 来源期刊: 中国电机工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 平面电机 低频扰动 非线性控制 轨迹跟踪 噪声抑制
• 年，卷（期）: 2012,（z1）
• 所属期刊栏目: 电工电机
• 页码范围: 236-241
• 页数: 6页
• 分类号: TM359
• 字数: 2671字
• 语种: 中文

摘要

长行程多自由度气浮平面电机广泛应用于高精度场合,如半导体制造装备、超精密仪器等.但气浮平面电机存在系统噪声大、易受外界干扰的问题,采用高增益线性控制器可有效抑制低频干扰,但会放大系统噪声.针对上述问题,为进一步提高运动与定位精度,提出一种基于轨迹跟踪误差幅值的变增益非线性控制算法,并采用扫描函数法证明所提方法的稳定性.当误差值大于阈值时,利用较大的附加增益以消除低频误差；反之,利用小增益以避免放大高频系统噪声.轨迹跟踪实验结果表明,相对于线性控制算法,非线性控制算法作用下跟踪误差小于1μm,有效提升了系统的轨迹跟踪与定位性能,在增强系统抑制低频干扰能力的同时降低了对噪声的敏感性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨开明	清华大学摩擦学国家重点实验室	44	664	15.0	25.0
2	朱煜	清华大学摩擦学国家重点实验室	99	1312	17.0	33.0
3	李鑫	清华大学摩擦学国家重点实验室	29	318	9.0	17.0
4	余东东	清华大学摩擦学国家重点实验室	4	28	3.0	4.0
5	崔乐卿	清华大学摩擦学国家重点实验室	3	13	2.0	3.0