高功率等离子磁控溅射法制备含钛类金刚石碳膜

• 来源期刊: 中国有色金属学报（英文版）
• 学科: 工学
• 关键词: 高功率等离子磁控溅射 金属-类金刚石碳膜 类金刚石碳膜
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 页码范围: 1381-1386
• 分类号: TG174.44
• 字数: 1311字
• 语种: 英文
• DOI: 10.1016/S1003-6326(11)61329-0

摘要

为了改善类金刚石碳膜的性能,采用高功率等离子磁控溅射法将含钛非晶碳薄膜沉积在304不锈钢基材上,气源为C2H2-Ar混合气体,金属钛为阴极靶材.为了改善附着力和降低残余应力,制备了含Ti/TiC/DLC多层结构的镀膜.利用GDS、XRD、SEM、Raman光谱法、纳米压痕仪和盘-销摩擦计研究基材偏压及基材与靶材的距离对薄膜性能的影响.结果表明,薄膜具有优良的粘合强度和韧性.