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摘要:
随着集成电路工艺的不断发展,工艺模拟软件功能也在不断地改善。本文以扩散工艺为例,同时在计算机上采用SUPREM-Ⅲ软件进行扩散初始条件的编辑和工艺模拟,并对结果进行比较分析,从而避免了扩散工艺复杂的工程计算。
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内容分析
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文献信息
篇名 应用SUPREM-Ⅲ进行集成电路扩散工艺模拟
来源期刊 考试周刊 学科 工学
关键词 集成电路 SUPREM-Ⅲ 扩散工艺模拟
年,卷(期) 2012,(13) 所属期刊栏目 信息技术教学与研究
研究方向 页码范围 117-117
页数 1页 分类号 TP317
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王健 沈阳化工大学信息工程学院 49 161 7.0 11.0
2 刘欢 沈阳化工大学信息工程学院 46 126 6.0 8.0
3 赵怡然 沈阳化工大学信息工程学院 2 0 0.0 0.0
传播情况
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引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
集成电路
SUPREM-Ⅲ
扩散工艺模拟
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
考试周刊
半周刊
1673-8918
22-1381/G4
大16开
吉林省长春市
12-53
2007
chi
出版文献量(篇)
215175
总下载数(次)
438
总被引数(次)
152029
  • 期刊分类
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