氧气和形核密度对金刚石薄膜生长的可控性研究

• 作者: 周祥 李伟 汪建华 翁俊
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 形核 氧气 生长速率
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 页码范围: 19-22
• 分类号: TQ164|TG74
• 语种: 中文

摘要

在2kW微波等离子体化学气相沉积装置中,以CH4,H2和O2为反应气体制备金刚石膜,主要研究氧气和形核密度对金刚石膜表面形貌和生长速率的影响.在实验过程中,O2的掺入对相同形核密度表面形貌、质量有影响,其中氢气与甲烷在形核时的体积浓度比为200∶6,生长时的体积浓度比为200∶4,通入0.2 mL/min的O2有助于增大表面金刚石颗粒,并提高金刚石膜的质量,在拉曼表征中只有一个金刚石特征峰.采用不同形核密度时,氧气的通入促进金刚石膜的沉积,并能抑制非晶C的沉积,因为沉积过程中的非晶C质量分数急剧下降,从而提高金刚石膜的生长速率,由1μm/h提高到了1.5μm/h.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
2	翁俊	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	33	102	4.0	8.0
3	李伟	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	16	76	5.0	7.0
4	周祥	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	2	19	2.0	2.0