掺锡量对溶胶-凝胶法制备ITO薄膜性能的影响

• 作者: 周炳卿 张丽丽 张林睿 李海泉
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: ITO薄膜 溶胶-凝胶法 表面形貌 透射率 方块电阻
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 11-15
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4|TN304.055
• 字数: 2610字
• 语种: 中文

摘要

本文以InCl3·4H2O和SnCl4·5H2O为前驱物,利用溶胶-凝胶法在玻璃载片上旋转涂膜制备掺锡氧化铟透明导电薄膜(ITO薄膜).采用了紫外-可见光分光光度计、四探针测试仪、X-射线衍射仪和扫描电镜等对ITO薄膜的透射率、方块电阻、物相组分和结构形貌进行测量与表征.研究了掺锡浓度对ITO薄膜的光电特性的影响.实验结果显示:ITO薄膜的光电特性与掺锡浓度有关,在掺杂溶度为12wt％时,制备出的ITO薄膜最低方块电阻为124Ω/□,最高透射率为92.85％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周炳卿	内蒙古师范大学物理与电子信息学院功能材料物理与化学自治区重点实验室	45	134	6.0	8.0
2	李海泉	内蒙古师范大学物理与电子信息学院功能材料物理与化学自治区重点实验室	9	21	3.0	4.0
3	张丽丽	内蒙古师范大学物理与电子信息学院功能材料物理与化学自治区重点实验室	11	27	3.0	4.0
4	张林睿	内蒙古师范大学物理与电子信息学院功能材料物理与化学自治区重点实验室	16	48	4.0	5.0