退火处理对玻璃表面沉积的ZnO薄膜微观形貌与性能的影响

• 作者: 刘敬肖 刘贵山 姜妍彦 杜兴科 胡志强 阮鑫栋
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌薄膜 超声喷雾法 退火处理 微观形貌
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜及涂层
• 页码范围: 820-824
• 页数: 5页
• 分类号: TQ171.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.7521/j.issn.0454-5648.2013.06.17

摘要

以Zn(NO3)2·6H2O为前驱体,采用超声喷雾热解法在500℃下、在钠钙硅浮法玻璃衬底上制备了ZnO薄膜.分别在不同温度(500、550、600℃)和不同时间(30、60、120min)对制备的ZnO薄膜进行了退火处理.研究退火条件对ZnO薄膜微观结构、形貌以及光学性能的影响.结果表明:退火处理能提高ZnO薄膜的c轴取向；随着退火时间的延长,ZnO薄膜附着强度随之增加,但c轴取向度呈先增强,至120min时又开始呈下降的趋势；随着退火温度的升高,ZnO薄膜的c轴取向亦出现先显著增强,之后又开始下降的趋势,同时可见光透过率亦呈相同的变化趋势.最佳退火条件为500℃温度保温60min,此时薄膜不仅c轴取向生长优势明显,结晶质量良好,表面颗粒大小均匀,致密平滑,同时薄膜的可见光透过率由退火前的70％提高到90％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘敬肖	大连工业大学纺织与材料工程学院	45	175	9.0	11.0
2	胡志强	大连工业大学纺织与材料工程学院	67	242	8.0	11.0
3	姜妍彦	大连工业大学纺织与材料工程学院	22	154	7.0	12.0
4	刘贵山	大连工业大学纺织与材料工程学院	48	121	6.0	9.0
5	阮鑫栋	大连工业大学纺织与材料工程学院	3	2	1.0	1.0
6	杜兴科	大连工业大学纺织与材料工程学院	2	3	1.0	1.0