栅网式离子能量分析仪中栅网特性的模拟研究

• 作者: 弥谦 杭凌侠 潘永强 王飞飞
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 离子能量 等离子体 栅网式能量分析仪 Simion模拟
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 1065-1068
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.11.02

摘要

等离子体中离子能量的分布是离子束加工技术的关键参数之一.本文基于栅网式离子能量测试原理,采用离子光学模拟软件Simion7.0对栅网式离子能量分析仪的网格大小和网格间距进行了理论分析,这两个几何结构参数影响着离子能量的测试.理论分析结果表明,在离子能量为800 eV左右时,网格尺寸的大小会影响离子能量的测量精度,网格间距的大小对离子能量的测量结果几乎不产生影响.本文的研究结果对栅网式离子能量测试装置的设计及网格参数的优化具有重要的理论和实践指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	弥谦	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	60	260	9.0	14.0
2	杭凌侠	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	93	777	15.0	22.0
3	潘永强	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	63	392	11.0	15.0
4	王飞飞	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	3	4	2.0	2.0