衬底和热处理温度对ZnO薄膜的微观结构的影响

• 作者: 丁士华 吴小亮 杨晓静 鲁云
• 来源期刊: 西华大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: sol-gel法 c轴取向 ZnO薄膜 热处理
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 先进材料及能源
• 页码范围: 15-17,37
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2496字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-159X.2013.03.003

摘要

采用Sol-gel法,在普通载玻片和Si(100)上使用旋转涂覆技术制备了具有c轴择优取向生长的ZnO薄膜.利用XRD和SEM研究了衬底和热处理温度对ZnO薄膜的物相结构、表面形貌和(002)定向性的影响.结果表明,sol-gel旋涂法制备的ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,玻璃衬底上生长的ZnO薄膜为多晶形态,Si(100)衬底表现出更优取向生长特性.随着热处理温度的升高,c轴择优取向程度逐渐增强,晶粒尺寸逐渐增大,ZnO的晶格参数先增加后减小.当温度在700℃时长出明显的柱状晶粒.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁士华	西华大学材料科学与工程学院	111	243	8.0	10.0
2	杨晓静	西华大学能源与环境学院	11	55	3.0	7.0
3	吴小亮	西华大学材料科学与工程学院	5	32	2.0	5.0