退火温度对溶胶-凝胶法制备锌锡氧化物薄膜晶体管的影响

• 作者: 罗文彬 陈文彬
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 退火温度 薄膜晶体管 电学性能
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 发光学应用及交叉前沿
• 页码范围: 1550-1554
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 1924字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20133411.1550

摘要

采用溶胶-凝胶法制备了非晶锌锡氧化物(ZTO)薄膜晶体管(TFT),通过热重-差热分析(TG-DTA)对ZTO胶体中的化学反应进行了分析,研究了不同退火温度对ZTO TFTs性能的影响.结果表明:当退火温度在300～ 500℃范围内时,薄膜为非晶态结构,薄膜表面致密、平整.当退火温度达到400℃时,薄膜在可见光范围内具有高透过率(＞85％).随着退火温度的升高,器件阈值电压明显降低,由15.85 V降至3.76 V,载流子迁移率由0.004 cm2·V-1·s-1提高到5.16 cm2·V-1·s-1,开关电流比达到105.退火温度的升高明显改善了ZTO TFT的电学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈文彬	电子科技大学光电信息学院四川省显示科学与技术重点实验室	45	202	8.0	11.0
2	罗文彬	电子科技大学光电信息学院四川省显示科学与技术重点实验室	1	3	1.0	1.0