用于投影光刻机光瞳整形的衍射光学元件设计

• 作者: 曾爱军 朱菁 杨宝喜 肖艳芬 胡中华 黄惠杰
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学设计 衍射光学元件 混合分区设计 迭代傅里叶变换 光瞳整形 投影光刻
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 160光学设计与制造
• 页码范围: 308-312
• 页数: 5页
• 分类号: O438
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201340.0616001

摘要

投影光刻机普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式.针对投影光刻机中准分子激光器空间相干性差的特点,提出了一种混合分区设计方法,并利用该方法对产生传统照明模式、二极照明模式和四极照明模式的DOE进行了具体的设计.仿真分析了采用常规重复分区方法和混合分区方法的两类设计结果,并对它们的远场光强分布进行了详细的比较分析.在相同的局部优化算法条件下,相对于常规重复分区方法的设计结果而言,混合分区方法设计的DOE可使传统照明模式的非均匀性从26.45％下降到1.12％,二极照明模式的非均匀性从19.93％下降到5.45％,四极照明模式的非均匀性从17.73％下降到3.54％.混合分区设计方法无需改变局部优化算法,在保持高衍射效率的同时能大幅度提高光瞳均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄惠杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	69	544	13.0	23.0
2	曾爱军	中国科学院上海光学精密机械研究所	33	188	8.0	13.0
3	杨宝喜	中国科学院上海光学精密机械研究所	17	1	1.0	1.0
4	朱菁	中国科学院上海光学精密机械研究所	12	4	1.0	2.0
5	胡中华	中国科学院上海光学精密机械研究所	5	0	0.0	0.0
6	肖艳芬	中国科学院上海光学精密机械研究所	4	0	0.0	0.0