有机玻璃衬底磁控溅射ITO膜的制备与性能研究

• 作者: 冯海兵 张运生 杨幼然 王永斌 马晓娜
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: ITO薄膜 有机玻璃 磁控溅射 透光率 方块电阻
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 69-72,117
• 分类号: O484
• 语种: 中文

摘要

在低温条件下采用直流磁控溅射法在有机玻璃(PMMA)衬底上制备了ITO薄膜.分别采用分光光度计、四探针测试仪研究了底涂层、衬底温度、氧流量、溅射时间对PMMA上沉积的ITO薄膜性能的影响.研究结果表明:涂覆底涂层有助于ITO成膜;衬底温度影响薄膜的方块电阻值;适当增大O2流量可以提高薄膜的透射率,但过高的O2流量降低薄膜的导电性;溅射时间延长,方块电阻值减小.优化工艺后制备的ITO薄膜为非晶态膜,可见光平均透过率达83.5％,方块电阻为22 Ω/□.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马晓娜		3	4	2.0	2.0
2	冯海兵		7	10	2.0	2.0
3	王永斌		4	23	2.0	4.0
4	张运生		3	3	1.0	1.0
5	杨幼然		1	2	1.0	1.0