电子辐照对槽栅IGBT器件参数影响分析

• 作者: 刘慧勇 刘琛 邹光祎 闻永祥 顾悦吉
• 来源期刊: 中国集成电路
• 关键词: 绝缘栅晶体管 电子辐照技术 关断时间
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 制造工艺
• 页码范围: 58-61
• 页数: 4页
• 字数: 2345字
• 语种: 中文

摘要

功率器件IGBT由于其优异特性而广泛应用于电机、电焊机和功率开关等领域,是功率器件的主流产品之一.本文首先介绍了电子辐照技术在改善IGBT关断时间的应用,以及该技术在槽栅IGBT应用中出现的异常现象,并提出了改善此类异常现象的器件制造方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闻永祥	杭州士兰集成电路有限公司技术中心	10	14	2.0	3.0
2	顾悦吉	杭州士兰集成电路有限公司技术中心	5	9	2.0	3.0
3	刘琛	杭州士兰集成电路有限公司技术中心	5	11	2.0	3.0
4	刘慧勇	杭州士兰集成电路有限公司技术中心	3	9	2.0	3.0
5	邹光祎	杭州士兰集成电路有限公司技术中心	3	4	2.0	2.0