柔性铰链微定位平台的设计

• 作者: 刘波 孙立宁 谢炜 马立
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微定位平台 桥式机构 平行板机构 柔性铰链 有限元分析 优化设计
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 338-345
• 页数: 8页
• 分类号: TP242
• 字数: 3622字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142202.0338

摘要

设计了一种以平行板铰链机构进行导向,以桥式机构进行位移放大的新型压电陶瓷驱动微定位平台.应用弹性力学和材料力学理论建立该平台的桥式放大机构和平行板铰链机构的理论模型,分析了平台的驱动力、输出位移、刚度和固有频率,并运用Matlab软件优化了桥式机构铰链长度、厚度,平行板铰链长度及厚度等几何参数,获得了微定位平台的最优值.对优化后的结果进行了有限元仿真,并搭建了测试系统对平台性能进行了测试.测试结果显示,理论分析与实验结果的最大误差为9.8％,有限元分析与实验结果的最大误差为4.2％,得到的结果验证了理论分析和有限元分析的正确性,实现了平台体积小,放大倍数高,位移输出大的设计目标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙立宁	苏州大学机器人与微系统研究中心	379	7003	43.0	61.0
3	马立	上海大学机电工程与自动化学院	34	275	8.0	16.0
9	谢炜	上海大学机电工程与自动化学院	4	91	2.0	4.0
10	刘波	上海大学机电工程与自动化学院	4	89	2.0	4.0