大规模集成电路专用设备晶片处理系统中高精度、宽范围调速系统的实现

• 作者: 年有权 王琳
• 来源期刊: 工业仪表与自动化装置
• 关键词: 加速度 速度 双闭环 采样 测速 调速
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 设计与应用
• 页码范围: 50-52
• 页数: 3页
• 分类号: TN407
• 语种: 中文

摘要

提出了一种新的计算机控制高精度、宽范围的调速系统，采用直接数字控制实现了快速实时调速。系统采用软件和硬件结合的控制方案，给出了系统原理框图和控制流程图，解决了快速响应与控制精度之间的矛盾。经测试，对于一个宽度范围为200～8000 r／min的调速系统而言，调速精度能够控制在±10 r／min以内，满足了晶片处理系统的工艺要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王琳		20	35	2.0	5.0
2	年有权		1	0	0.0	0.0