中微28～15 nm 等离子体刻蚀机荣获工博会金奖蝉联工博会奖项，彰显十年发展成果

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篇名	中微28～15 nm 等离子体刻蚀机荣获工博会金奖蝉联工博会奖项，彰显十年发展成果
来源期刊	电子工业专用设备	学科
关键词
年，卷（期）	2014,（11）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	69-69
页数	1页	分类号
字数	1323字	语种	中文
DOI