热处理温度对CoTaZr薄膜磁芯电感性能的影响

• 作者: 何玉定 李慧 杨元政 谢致薇 陈先朝
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: CoTaZr薄膜 热处理 微观结构 电阻率 磁性能 电感性能
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 43-46,51
• 页数: 5页
• 分类号: TM25
• 字数: 4271字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2014.02.011

摘要

通过不同温度的热处理来改变磁控溅射法沉积的CoTaZr薄膜的组织结构,研究了热处理温度对薄膜微观结构及磁电性能的影响,并将这些薄膜作为电感磁芯,研究其热处理温度对电感低频段(频率范围为0～3 MHz)性能的影响.结果表明,镀膜态薄膜呈非晶态,随热处理温度的升高,薄膜晶化逐渐明显,其电阻率逐渐降低;150℃和300℃热处理均有利于提高薄膜的饱和磁化强度Ms以及薄膜电感的电感量L,150℃热处理可提高薄膜电感的品质因数Q,所以最佳的热处理温度为150℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢致薇	广东工业大学材料与能源学院	85	436	12.0	15.0
2	杨元政	广东工业大学材料与能源学院	123	648	13.0	20.0
3	陈先朝	广东工业大学材料与能源学院	59	180	7.0	10.0
4	何玉定	广东工业大学材料与能源学院	28	215	6.0	14.0
5	李慧	广东工业大学材料与能源学院	7	24	2.0	4.0