磁控溅射金基合金靶材的制备、应用及发展趋势

• 作者: 厉英 张俊凯 张勤
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 金基合金 磁控溅射 靶材 技术要求
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.1
• 字数: 5204字
• 语种: 中文

摘要

磁控溅射金基合金镀膜材料以其特有的性能和特点,应用范围越来越广.作为源材料,金基合金靶材的质量对溅射工艺及镀膜性能起着至关重要的作用.主要介绍常用金基合金的种类;金基合金溅射靶材的制备方法及应用现状;高端金基合金溅射靶材制备的技术要求、存在的问题及未来的发展思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	厉英	东北大学材料与冶金学院	59	294	9.0	14.0
2	张勤	东北大学材料与冶金学院	35	484	13.0	21.0
3	张俊凯	东北大学材料与冶金学院	4	12	1.0	3.0