Mn-Co-Ni红外探测器As-Se光学薄膜制备及性能研究

• 作者: 张弓 李岩 杨宇 马莒生
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 航空航天
• 关键词: 红外探测器 As-Se光学薄膜 真空热蒸发 性能
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 页码范围: 64-66
• 页数: 3页
• 分类号: V11
• 字数: 2059字
• 语种: 中文

摘要

采用真空热蒸发方法,在Ge基底上沉积As-Se光学薄膜(下述简称薄膜),考察薄膜中As含量对于薄膜软化点、14~16μm红外波段折射率及透射率的影响。通过XRF分析薄膜组成,并通过DTA 及维卡法分析薄膜软化点,利用PE Spectrum100型红外光谱议,分析薄膜在14~16μm波段的透射率,利用红外干涉仪分析折射率。结果表明,As-Se薄膜制备过程中的元素损失较小,薄膜软化点随薄膜As含量不断升高,薄膜在14和16μm波段的折射率随As含量增大而增加,透射率随As含量增大而减小,中心波段透射率超过55%。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张弓	清华大学机械工程系	81	914	16.0	27.0
2	马莒生	清华大学材料学院	58	894	16.0	29.0
3	杨宇		4	19	2.0	4.0
4	李岩		4	1	1.0	1.0